重庆时时彩必输原理:多功能真空校准装置的校准原理方法

来源:真空技术网(75秒极速时时彩官网 www.ifh1.com.cn)上海卫星装备研究所 作者:彭光东

75秒极速时时彩官网 www.ifh1.com.cn 1、真空规校准

  利用静态稳压比对法校准低真空规管,原理是通过微调阀向校准室注入一定量的气体并使压力稳定,通过被校规测量的数值与标准规测量的数值进行比较,获得被校规的相关参数。该方法适用于测量范围在1×10-1 Pa~133kPa 内的规管校准。因为校准压力较高,为避免校准气体对超高真空室的极限真空的影响,设计选用稳压室兼做低真空校准室。作为校准室,需要排除真空室自身放气的影响,因此低真空校准室工作本底真空度需优于1×10-3 Pa。同时要求该校准室的极限真空优于1×10-4 Pa 来保证真空室自身的低泄漏率,避免泄漏的因素对测量结果带来误差。校准的标准规选用inficonCDG045 系列电容薄膜规,该系列薄膜规具有45℃温包,温度恒定,减少周边环境温度变化对规测量结果的影响,且该型薄膜规具有对气体选择性小、精度高、重复性好等特点。通过配备三只标称量程分别是1000Torr、10Torr 和0.1Torr (1Torr=133Pa) 等于的电容薄膜规可以很好的覆盖1×10-1 Pa~133kPa 的校准量程范围,测量精度也能达到校准要求。

  利用动态比对法校准高真空规管,方法为利用稳压室建立气体的稳压源,通过高精度的微调阀将气体不断地注入校准室,同时保持分子泵机组对真空校准室的抽气,并通过微调阀调节气体的流量,使校准室真空度维持在校准的真空度范围内。为了保证校准室气流的稳定,校准室入口设计有散流板进行散流,双球室之间通过小孔板稳定气体气流。该方法适用于1×10-1 Pa~1.0×10-4 Pa 范围的规管校准。一般要求校准室的工作本底真空度优于1×10-6 Pa。标准规采用布鲁克斯的GP370 真空规,同时通过四极质谱计获得的离子流的参数,换算出相应的分压力值。微调阀采用安捷伦的面密封阀。

2、漏孔校准

  漏孔校准采用四极质谱比对法校准。比对法校准较小漏率真空漏孔时,为了得到与被校漏孔相同或相近的气体流量,一般采用固定流导法作为标准气体流量获得的手段,该方法具有结构简单、操作方便、测量不确定度小、校准精度高等优点。

  原理为利用已知流量的标准漏孔,通过稳压室压力的调节,向双球校准室注入稳定流量的气体,并利用分子泵机组对真空校准室持续抽气,并通过微调阀调节气体的流量,使校准室压力维持在合适的校准压力范围内,为校准室建立起漏孔气体的动态平衡。首先利用四极质谱计获得标准漏孔的离子流参数,再切换到被较漏孔,获得被较漏孔状态下的四极质谱计离子流。通过公式(1)计算得出被较漏孔漏率数值。

多功能真空校准装置的校准原理方法

  式中:QL—被较漏孔的漏率,Pa·m3/s;

  IL—被校漏孔微流量对应的离子流,A;

  IS—标准漏孔微流量所对应的离子流,A;

  I0—系统本底离子流,A;

  Q—标准漏孔的漏率,Pa·m3/s。

  多功能真空校准装置的校准原理方法为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  //www.ifh1.com.cn/systemdesign/067123.html

  与 真空系统 多功能真空校准装置 相关的文章请阅读:

  真空系统//www.ifh1.com.cn/systemdesign/

  • 不断开辟21世纪马克思主义新境界 —— 学习习近平总书记在纪念马克思诞辰200周年大会上的讲话 2019-05-29
  • 人民网评:“疯狗咬人”提醒城市管理者需重视一个问题 2019-05-29
  • 西安启动唐长安城明德门遗址保护工程 2019-05-27
  • 实际情况,你应该了解一下。比如:免费公交与付费公交混搭,其中管理漏洞之多。你应该去观察一下。[微笑] 2019-05-27
  • 女性之声——全国妇联 2019-05-20
  • 只看到“贫穷”而看不到“富裕”,只看到贫富差别而看不到其根源是社会财富被个人占为私有的私有制,都是片面错误的。 2019-05-20
  • 刚果大猩猩超黏人 赖饲养员身上要背背 2019-05-15
  • 认识【转基因的各种破坏力】,其实很简单,只需【化验员】扒开种植【转基因农作物】的【泥土】,拿到【化验室】在【显微镜】下面看一看其【泥土】里面还有没有【微生物】的 2019-05-15
  • 东嘎寺看藏戏文章中国国家地理网 2019-05-10
  • 学习有理丨着力改善环境 增创发展优势 2019-04-18
  • 美轮美奂!日本八幡平现奇特的“龙眼”景象 2019-04-18
  • 女性之声——全国妇联 2019-04-11
  • 自社会主义实践以来,实事求是地说好计划经济和市场经济,不要误导? 2019-04-11
  • 中美贸易战不是坏事,中美两国都会从贸易战中强大起来。独立自主,自立更生,走自己的路,中国的发展一定会突破美国限制,变得更加强大。 2019-04-07
  • 俄罗斯大胜沙特 球迷悲喜两重天 2019-04-07
  • 166| 940| 911| 156| 177| 244| 219| 783| 740| 494| 322| 546| 933| 715| 531|